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气相/液相渗硅炉 先进陶瓷
底升式碳管烧结炉是理想的气相、液相渗硅炉
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产品详情

用途:

底升式碳管烧结炉,底部出装料是理想的碳基材料气相、液相渗硅炉.

主要配置:

1.立式炉体,双层炉体结构,水冷夹套设计。

2.炉膛内石墨碳管发热体,保温层,测温、监测热电偶等组成。

3.出、装料盘装在炉底由电机驱动升降,便于出、装料。 

4.PLC加触摸屏操作方式,有报警功能,自动化程序高,安全可靠

主要技术参数:

1.工作区:?300X500mm

2.高温度:2000℃

3.工作温度:1650

4.极限真空度:5X10-3Pa

5.保护气氛氮或氩气



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