CVD气相沉积炉
先进陶瓷
CVD气相沉积炉烧结碳碳/碳陶复合材料
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用途：
CVD气相沉积炉用于烧结碳碳及碳陶复合材料产品.
主要配置：
1.立式炉体，双层炉体结构，水冷夹套设计。
2.炉膛内由发热元件，保温层，测温热电偶，监测热电偶组成
3.发热元件沿炉膛内壁均匀布置，有利于加热，温度均匀性好
4.PLC加触摸屏操作方式，有报警功能，自动化程序高,安全可靠
主要技术参数:
1.工作区：?1500X2000mm
2.高温度：1550℃
3.工作温度：1400℃
3.极限真空度：20Pa
4.加热方式电阻加热
5.工作气氛氩气及反应气体
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