气相渗透炉
先进陶瓷
气相渗透炉
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一、设备用途：
气相渗透炉主要用于CVD和CVI工艺制备C/C、C/SIC及SIC/SIC复合材料，力学性能优异，
适用于航空航天级别碳基及SIC基复合材料，该设备可用于纵项目SIC包壳管的研制。
C/C复合材料，C/SIC陶瓷基复合材料，热解碳涂层，SIC涂层，以及SIC/SIC复合材料制备。
二、设备特点：
1 立式结构，双层水冷结构设计，炉壳用耐腐蚀材料制成。
2 独特的内罩进排气结构，热场温度均匀性好。
3 气氛控制精确，真空系统配有过滤器，可选配尾气处理系统。
4 控制系统采用PLC加触摸屏控制方式，操作方便，简单。
5 主要电器元件采用施耐德及欧姆龙品牌，性能稳定、可靠。
三、主要技术参数：
| No. | 型号 | 工作区尺寸 | 高温度 | 真空度 | 压升率 | 温度均匀性 | 功率 |
| 1 | ZT-60-13 | ?300X600mm | 1300℃ | 1-100Pa | 0.67(Pa/h) | ±10℃ | 48KW |
| 2 | ZT-145-13 | ?500X1500mm | 1300℃ | 1-100Pa | 0.67(Pa/h) | ±10℃ | 135KW |
| 3 | ZT-160-13 | ?600X1500mm | 1300℃ | 1-100Pa | 0.67(Pa/h) | ±10℃ | 160KW |
| 4 | ZT-240-13 | ?800X1500mm | 1300℃ | 1-100Pa | 0.67(Pa/h) | ±10℃ | 240 |
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